Чистота – залог прогресса
22.05.2002 13:09
Группа исследователей из Университета штата Аризона работает над созданием экологически-чистой технологией производства чипов.
Сегодня при производстве микросхем кремниевые подложки подвергаются целому ряду операций травления и химического осаждения из паровой (газовой) фазы. Между этими операциями их извлекают из вакуумной камеры и очищают при помощи сверхчистой воды или других растворителей. Изучив процесс очистки на молекулярном уровне, ученые разработали технологию очистки в газовой фазе. При ее использовании подложки смогут оставаться в камере между всеми стадиями осаждения. Для очистки используется углекислый газ (двуокись углерода) в надкритическом состоянии (промежуточном между газом и жидкостью). По утверждениям разработчиков, новая технология наносит гораздо меньший урон окружающей среде, поскольку углекислота нетоксична и может "работать" в замкнутом цикле. Для ее очистки перед повторным использованием достаточно сбросить давление -- полугаз-полужидкость превратится в настоящий газ, и весь «мусор» просто выпадет в осадок.
Ученые из Аризоны планируют создать экологически-чистые альтернативы и для других операций, причем изготовленные с их применением полупроводниковые компоненты будут более совершенны, чем нынешние.
EE Times
последние новости
01.02.2013 15:18 | Интернет и малые предприятия...»
22.01.2013 13:30 | Провал с планшетом от Microsoft...»
27.11.2012 13:14 | Ключ к лучшему софту для вас!...»
22.11.2012 14:39 | Выбор домашнего компьютера...»
16.11.2012 15:17 | Старый знакомый - Dr. Web...»
04.04.2012 13:35 | Как играть в игровые автоматы и как они устроены...»
04.04.2012 13:08 | Интернет-вклады набирают популярность...»
21.03.2007 17:33 | Вышел 3-й номер Юзабилити Бюллетеня...»
16.03.2007 00:16 | Индивидуальное обучение поисковому продвижению...»
15.03.2007 19:16 | Анонс места проведения PHPCONF 2007...»
14.03.2007 17:21 | Спонсоры конференции PHPCONF 2007...»
14.03.2007 00:29 | Аккредитация журналистов на участие в конференции «РИТ-2007» началась ...»
07.03.2007 12:12 | ЦБ обяжет аудиторов раскрывать банковскую тайну ...»
04.03.2007 20:30 | «1С» и «Битрикс» создают совместную компанию «1С–Битрикс»...»
01.03.2007 18:42 | Adobe выпустит Creative Suite 3 в конце марта...»
01.03.2007 17:44 | Oracle намерена приобрести Hyperion Solutions за $3,3 млрд ...»
28.02.2007 17:15 | Google улучшает систему уведомлений веб-мастеров...»
28.02.2007 16:09 | Adobe выпустит средства для редактирования видео в интернете...»
27.02.2007 19:29 | Большие ИТ-компании обещают возможности Web 2.0...»
27.02.2007 16:35 | Page Promoter 7.5: глобальная платформа для анализа, продвижения и управления ресурсом...»
|
|
