Чистота – залог прогресса
22.05.2002 13:09
Группа исследователей из Университета штата Аризона работает над созданием экологически-чистой технологией производства чипов.
Сегодня при производстве микросхем кремниевые подложки подвергаются целому ряду операций травления и химического осаждения из паровой (газовой) фазы. Между этими операциями их извлекают из вакуумной камеры и очищают при помощи сверхчистой воды или других растворителей. Изучив процесс очистки на молекулярном уровне, ученые разработали технологию очистки в газовой фазе. При ее использовании подложки смогут оставаться в камере между всеми стадиями осаждения. Для очистки используется углекислый газ (двуокись углерода) в надкритическом состоянии (промежуточном между газом и жидкостью). По утверждениям разработчиков, новая технология наносит гораздо меньший урон окружающей среде, поскольку углекислота нетоксична и может "работать" в замкнутом цикле. Для ее очистки перед повторным использованием достаточно сбросить давление -- полугаз-полужидкость превратится в настоящий газ, и весь «мусор» просто выпадет в осадок.
Ученые из Аризоны планируют создать экологически-чистые альтернативы и для других операций, причем изготовленные с их применением полупроводниковые компоненты будут более совершенны, чем нынешние.
EE Times
последние новости
22.05.2002 17:04 | Shema.Ru начинает взимать плату за контент ...»
22.05.2002 16:57 | Семинар "Интернет и журналистика"...»
22.05.2002 16:51 | Служба интернет-рекламы Begun.ru подключилась к PayCash...»
22.05.2002 16:48 | Информационные сайты правительства Москвы, посвященные переписи населения...»
22.05.2002 16:27 | В интернете появились трейлеры Матрицы 2 и З...»
22.05.2002 16:15 | Звездные войны с пиратами. Совершенную технологию бессмысленно красть...»
22.05.2002 15:54 | В «Звездные войны» вступают Xbox и PlayStation ...»
22.05.2002 15:26 | Alps Electric представила пульт управления в виде ленты...»
22.05.2002 15:20 | Достань-ка, песик, календарь......»
22.05.2002 14:17 | ИТ-директора поплавали на «Авроре»...»
22.05.2002 14:01 | Запатентованы "подплывающие" окна...»
22.05.2002 13:09 | Чистота – залог прогресса...»
22.05.2002 12:06 | Американский автопром осваивает беспроводные сети...»
22.05.2002 10:53 | 2002 год глазами high-tech начальников...»
22.05.2002 10:44 | В залах игровых автоматов запахло жареным...»
22.05.2002 09:50 | Биоинформатику – в австралийскую глубинку...»
22.05.2002 09:38 | Где платят больше всего? Четыре типа самых щедрых компаний...»
22.05.2002 09:30 | Министерство связи поддерживает спам...»
22.05.2002 09:24 | На страницах Google поселился рисованный персонаж...»
22.05.2002 08:57 | Клуб ветеранов информационных технологий...»
|
|
