Уменьшить размеры процессора и увеличить его быстродействие можно, лишь уменьшая размеры элементов микросхемы. Этого можно добиться двумя способами - делая слои микросхемы все тоньше и тоньше или прочерчивая линии все уже и уже. На этом пути достигнуты большие успехи - у процессоров с частотой более 2ГГц, которые выпускаются компаниями Intel и AMD, характерный размер равен 130 нм. А дальше возникает естественная преграда - закон природы, по которому разрешение не может быть меньше половины длины волны источника излучения. Отсюда и очевидное решение проблемы - попытаться уменьшить саму длину волны с ныне используемых 248 нм до 193 нм и соответственно увеличить разрешение. Увы, эта часть спектра уже относится к дальнему ультрафиолету. Для оптической нанолитографии, когда изображение фокусируют и уменьшают с помощью линзы, обычное кварцевое стекло не годится - для ультрафиолета стекло непрозрачно. Оно поглощает излучение, нагревается и разрушается.

Материал, который прозрачен для ультрафиолета с длиной волны менее 200 нм и достаточно устойчив к разрушению, есть. Это монокристаллы фторидов кальция или бария. Но вот качество их должно быть высочайшим: во-первых, они должны быть оптически гомогенны, а во-вторых, не иметь микродефектов - потому что иначе линзы просто потрескаются в мощном лазерном пучке. Кроме того, они должны быть достаточно большими - диаметром не меньше 300 мм. Такие монокристаллы делать очень трудно.

До сих пор монополистами в этой области были западные компании - в основном швейцарская Zeiss, которая, разумеется, ни с кем секретами технологии не делилась. Однако недавно выращивать кристаллы фторидов для нанолитографии научились и ученые из Санкт-Петербурга, работающие в Государственном оптическом институте им. Вавилова (ГОИ) и Научно-технологическом институте оптического материаловедения. Они создали соответствующую автоматизированную установку.

Про свой метод исследователи из Питера тоже много не рассказывают - материаловеды вообще не любят делиться тайнами рецептов, они их предпочитают патентовать. По мнению директора ГОИ профессора Валерия Арбузова, главная заслуга авторов - это выбор сырья и определение тонкостей температурного режима процесса: с какой скоростью и при какой температуре следует выращивать монокристаллический слиток из расплава.

В результате питерские ученые научились выращивать монокристаллы фторидов кальция и бария, удовлетворяющие самым строгим требованиям нанолитографии - высокой оптической гомогенности, низкому поглощению при длине волны 193 нм и минимальному внутреннему напряжению. Значит, благодаря питерским ученым теперь и в России можно сделать линзы из превосходных монокристаллов, пропускающих глубокий ультрафиолет.

	Библиотека Интернет Индустрии I2R.ru	Малобюджетные сайты... Продвижение веб-сайта... Контент и авторское право...
Забобрить! Блог		Поиск:	Рассылки для занятых...»

Библиотека Интернет Индустрии I2R.ru

Малобюджетные сайты...

Продвижение веб-сайта...

Контент и авторское право...

Магический кристалл для нанотехнолога