Чистота – залог прогресса
22.05.2002 13:09
Группа исследователей из Университета штата Аризона работает над созданием экологически-чистой технологией производства чипов.
Сегодня при производстве микросхем кремниевые подложки подвергаются целому ряду операций травления и химического осаждения из паровой (газовой) фазы. Между этими операциями их извлекают из вакуумной камеры и очищают при помощи сверхчистой воды или других растворителей. Изучив процесс очистки на молекулярном уровне, ученые разработали технологию очистки в газовой фазе. При ее использовании подложки смогут оставаться в камере между всеми стадиями осаждения. Для очистки используется углекислый газ (двуокись углерода) в надкритическом состоянии (промежуточном между газом и жидкостью). По утверждениям разработчиков, новая технология наносит гораздо меньший урон окружающей среде, поскольку углекислота нетоксична и может "работать" в замкнутом цикле. Для ее очистки перед повторным использованием достаточно сбросить давление -- полугаз-полужидкость превратится в настоящий газ, и весь «мусор» просто выпадет в осадок.
Ученые из Аризоны планируют создать экологически-чистые альтернативы и для других операций, причем изготовленные с их применением полупроводниковые компоненты будут более совершенны, чем нынешние.
EE Times
последние новости
31.10.2006 15:43 | Запущен тест Интернет-Аналитика...»
31.10.2006 14:15 | Google отменила ограничение на индексацию страниц с id в URL...»
30.10.2006 21:20 | Adobe Systems представила новые продукты в России...»
30.10.2006 20:27 | Vox - блогосервис нового поколения...»
27.10.2006 20:29 | Web 2.0 служит катализатором в «плавке» Oracle...»
27.10.2006 19:46 | "Нейрон" - сервис сетевых закладок...»
27.10.2006 18:57 | "Планета" в кармане...»
27.10.2006 18:36 | Google признал Украину...»
27.10.2006 18:29 | "Суп" рассказал интернетчикам о судьбе русского LiveJournal...»
27.10.2006 17:29 | Капитализация Google зашкалила...»
26.10.2006 19:04 | Вышла бета-версия инструментария Microsoft Atlas...»
25.10.2006 18:22 | Роботы, которые делают сайты. Новое в сайтостроении...»
25.10.2006 14:38 | Mozilla гордится безопасностью и быстродействием Firefox 2...»
24.10.2006 20:41 | Google предлагает настраиваемый поиск...»
24.10.2006 18:16 | Компания IT-Online и учебный центр Микроинформ провели первый совместный семинар на тему "Поисковая оптимизация и интернет-статистика"...»
24.10.2006 16:28 | Коммуникационная поддержка бизнеса: реклама и pr в сети Интернет...»
23.10.2006 12:40 | MySpace: объединение социальных сетей невозможно...»
22.10.2006 19:28 | Adobe: Internet-приложения без Internet...»
22.10.2006 19:24 | Opera 9.1 проверит сайты на благонадежность...»
21.10.2006 16:06 | Дыра в IE 7 на самом деле содержится вовсе не в браузере...»
|
|
